XY加速度
Max，1.0g
視覺(jué)系統
130萬(wàn)像素
測高儀精度
±0.007mm
XY速度
≤800mm/sec
XY加速度
≤1.0g
機械重復精度
±0.01mm
膠水包裝
30CC/50CC/300CC
溫控精度
±1℃（選配）
壓力控制精度
0.5%FS
Y速度
≤200mm/sec
Z速度
≤40mm/sec
XZ加速度
≤0.5g
適用產(chǎn)品范圍
≤500(X)x300(Y) x5(Z)mm
產(chǎn)能
≤20s/PCS
溫控精度
±1℃（選配）
適用產(chǎn)品范圍
500(X)x300(Y) x100(Z)mm
貼合精度
≤±0.2mm
料倉容量
≥100PCS（可定制）